光刻机
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EUV光刻机是生产最新、最强大芯片必要设备,目前由ASML独家进行研发、制造,ASML公司掌握80%的国际市场份额,市面上无法寻找到其他替代品
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2025-08-14 09:22 来自 杭州日报 吴佳妮
①全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州进入应用测试,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发有了“中国刻刀”;
②“羲之”通过高能电子束在硅基上“手写”电路,精度达到0.6nm,线宽8nm,可灵活修改设计无须掩膜版,特别适合芯片研发初期的反复调试。
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2025-07-29 15:38 来自 科创板日报记者 郭辉
①安徽首家半导体光刻掩模版企业——安徽晶镁光罩有限公司拟成立,多家资方合计向其增资11.95亿元;
②安徽晶镁关于半导体光刻掩模版的技术资产,均来自晶合集成方面的转让,未来将专注于28nm及以上工艺节点半导体光罩生产制造。
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