光刻机
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EUV光刻机是生产最新、最强大芯片必要设备,目前由ASML独家进行研发、制造,ASML公司掌握80%的国际市场份额,市面上无法寻找到其他替代品
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2025-01-07 15:19 来自 科创板日报 张真
①据悉,大孔径铥激光器或有望取代EUV采用的二氧化碳激光器;
②BAT系统使用掺铥元素的氟化钇锂作为增益介质,从而增加激光束的功率和强度;
③此外,BAT系统中使用的二极管泵浦固态技术可以提供更好的整体电气效率和热管理。
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2024-12-19 15:25 来自 学习时报
①工业和信息化部将氟化氪光刻机与氟化氩光刻机列入电子专用设备重要位置,体现中国在光刻机自主研发领域取得的重大进展。
②目前最先进的EUV光刻技术应用于2nm制程节点的芯片量产,仍在持续优化中,并探索成本较低的下一代光刻技术。
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