财联社6月4日电，光刻机概念震荡走强，新莱应材涨超12%，波长光电、蓝英装备、富创精密、海立股份跟涨。消息面上，美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外光刻装置，将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟，进一步降低了半导体芯片制造门槛。