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2022年03月28日 08:11:10
格科微12寸CIS项目正式搬入ASML先进ArF光刻机
《科创板日报》28日讯,格科微27日宣布,公司“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”推进迅速。厂房和洁净车间建设已经基本完成,今年2月16日开始搬入安装主设备。3月24日,ASML先进ArF光刻机成功搬入,其也是整套生产线中的最关键设备。
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