2025年07月11日 10:38:36
上海奉贤:支持企业发展先进制程集成电路配套材料 如6N级以上高纯靶材、深紫外光刻胶及配套试剂等
财联社7月11日电,上海市奉贤区人民政府办公室11日发布《奉贤区通用新材料产业发展行动方案(2025-2027)》。其中提出,以上海电子化学品专区为载体,以杭州湾开发区、工业综合开发区为重点,依托确信乐思、同创普润、康美特等企业,重点发力湿化学品、高纯靶材、电子气体、半导体封装材料等集成电路配套材料方向。支持企业发展先进制程集成电路配套材料,如6N级以上高纯靶材、G3级以上高纯试剂、深紫外光刻胶及配套试剂等,加快实现国产替代。推动同创普润新材料产业园项目落地,打造产业链生态拓展空间。
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